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表(biao)(biao)面(mian)(mian)粗糙(cao)度(du)(du)(Surface roughness)是指材料表(biao)(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)微(wei)小(xiao)表(biao)(biao)面(mian)(mian)起伏（波(bo)(bo)(bo)峰、波(bo)(bo)(bo)谷）的(de)(de)不平(ping)度(du)(du)。早在1920-1930年間，德(de)國(guo)的(de)(de)一(yi)些研(yan)究人員就開始了對表(biao)(biao)面(mian)(mian)粗糙(cao)度(du)(du)的(de)(de)研(yan)究。研(yan)究表(biao)(biao)明，材料的(de)(de)表(biao)(biao)面(mian)(mian)特性(xing)對機(ji)械性(xing)能有很大(da)的(de)(de)影響(xiang)，而隨著機(ji)械零(ling)(ling)部件的(de)(de)性(xing)能要(yao)求和(he)(he)加工工藝的(de)(de)提升(sheng)，零(ling)(ling)部件表(biao)(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)粗糙(cao)度(du)(du)情況也變得尤其重要(yao)。粗糙(cao)度(du)(du)的(de)(de)形(xing)成？如果你(ni)仔(zi)細觀察(cha)機(ji)床加工零(ling)(ling)件的(de)(de)過程，你(ni)會(hui)注(zhu)意到(dao)零(ling)(ling)件的(de)(de)表(biao)(biao)面(mian)(mian)在刀片(pian)和(he)(he)機(ji)床的(de)(de)作用下，表(biao)(biao)面(mian)(mian)呈(cheng)現出一(yi)種復雜的(de)(de)形(xing)狀(zhuang)，它大(da)多(duo)數情況下是由一(yi)系(xi)列不同高度(du)(du)、深度(du)(du)和(he)(he)間距的(de)(de)波(bo)(bo)(bo)峰波(bo)(bo)(bo)谷組成。這些波(bo)(bo)(bo)峰波(bo)(bo)(bo)谷非常微(wei)小(xiao)，

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失(shi)(shi)效(xiao)分(fen)(fen)析(xi)(xi)是對(dui)于電(dian)子元(yuan)件失(shi)(shi)效(xiao)原(yuan)因(yin)進行(xing)診斷(duan)(duan)，在進行(xing)失(shi)(shi)效(xiao)分(fen)(fen)析(xi)(xi)的(de)過程中，往往需(xu)(xu)要借助儀器設備(bei)(bei)，以(yi)及化學類(lei)手(shou)段進行(xing)分(fen)(fen)析(xi)(xi)，以(yi)確認失(shi)(shi)效(xiao)模式，判斷(duan)(duan)失(shi)(shi)效(xiao)原(yuan)因(yin)，研究失(shi)(shi)效(xiao)機(ji)理，提出改(gai)善預防措施。其(qi)方法可以(yi)分(fen)(fen)為有(you)損分(fen)(fen)析(xi)(xi)，無損分(fen)(fen)析(xi)(xi)，物理分(fen)(fen)析(xi)(xi)，化學分(fen)(fen)析(xi)(xi)等。其(qi)中在進行(xing)微觀(guan)形(xing)貌檢(jian)測的(de)時候，尤其(qi)是需(xu)(xu)要觀(guan)察斷(duan)(duan)面(mian)或(huo)者內部結構時，需(xu)(xu)要用(yong)到離子研磨(mo)儀+掃描電(dian)鏡結合法，來(lai)進行(xing)失(shi)(shi)效(xiao)分(fen)(fen)析(xi)(xi)研究。離子研磨(mo)儀目前是普遍(bian)使用(yong)的(de)制樣工具，可以(yi)進行(xing)不同角度的(de)剖面(mian)切削以(yi)及表面(mian)的(de)拋光和(he)清(qing)潔處(chu)理，以(yi)制備(bei)(bei)出適合半(ban)導體故障分(fen)(fen)析(xi)(xi)的(de) SEM 用(yong)樣品。離子研磨(mo)儀TECH